單晶硅液面光纖式雙色紅外測(cè)溫儀 生產(chǎn)廠(chǎng)家

1、概述

單晶硅廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽(yáng)能電池，以及集成電路、分立元件等各個(gè)領(lǐng)域。多晶硅是單晶硅的生產(chǎn)原料，單晶硅的純度比多晶硅高很多。單晶硅的純度一般為99.99999%，甚至可以達(dá)到9N或12N以上。目前國(guó)內(nèi)外多采用直拉方法獲取單晶硅。

直拉單晶爐由機(jī)械部分和電氣部分組成。機(jī)械部分包括水冷系統(tǒng)、氬氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、爐體、熱系統(tǒng)、液壓系統(tǒng)。電氣部分包含速度控制單元、加熱控制單元、加熱溫度控制及三相全橋功率部件、等徑生長(zhǎng)控制器、水溫巡檢及狀態(tài)報(bào)警、繼電器控制單元。（引用了教材文獻(xiàn)。）

直拉單晶爐的熱系統(tǒng)是用于融化單晶硅料，并保持一定溫度下單晶硅生長(zhǎng)的整個(gè)系統(tǒng)。

加熱器是熱系統(tǒng)中的重要部件，是直接的發(fā)熱體，溫度最高可達(dá)1600℃。石墨坩堝用來(lái)盛裝石英坩堝，單晶硅裝在石英坩堝里。

紅外測(cè)溫儀測(cè)量石墨坩堝的表面溫度和單晶硅液面的溫度，與等徑控制器溫度控制器的信號(hào)疊加后，反饋給溫度控制系統(tǒng)。

2、單晶硅紅外溫度測(cè)量

硅材料是比較難測(cè)的物體，硅輻射的溫度與發(fā)射率的對(duì)應(yīng)關(guān)系如上圖。硅的發(fā)射率再某個(gè)特定區(qū)域內(nèi)是不變的。需要紅外測(cè)溫儀采用特殊的窄帶濾色片來(lái)減小發(fā)射率變化的影響。

（1）單晶硅液面溫度測(cè)量

采用短波長(zhǎng)雙色測(cè)溫儀來(lái)測(cè)量單晶硅液面的溫度。推薦產(chǎn)品：DCTQ-714X0-7018（鏈接DCTQ-714X0系列雙色紅外測(cè)溫儀），溫度分辨率為0.1℃，溫度分辨率為0.1℃，溫度場(chǎng)內(nèi)的微小變化都能快速響應(yīng)，并具有極高的溫度穩(wěn)定性。

采用比色測(cè)溫的方法，可以避免硅料直徑變化的影響。視窗的污染，也不會(huì)影響測(cè)溫的準(zhǔn)確性。并有臟鏡頭檢測(cè)功能，鏡頭太臟時(shí)會(huì)提前發(fā)出信號(hào)，保證系統(tǒng)可靠工作。

DCTQ-714X0-7018產(chǎn)品特點(diǎn)如下：

測(cè)溫精度可達(dá)0.5%,重復(fù)精度為2℃，溫度分辨率達(dá)0.1℃（16bit）

響應(yīng)時(shí)間10ms～99.99s可調(diào)

采用可調(diào)焦鏡頭，測(cè)量距離0.35m至無(wú)窮遠(yuǎn)

對(duì)探測(cè)器采用PID恒溫控制，消除環(huán)境溫度對(duì)測(cè)量的影響

可視目鏡，清晰顯示被測(cè)目標(biāo)的位置及大小

兼具雙色和單色測(cè)溫功能

雙色模式下，有鏡頭臟檢測(cè)功能

采用工業(yè)級(jí)OLED屏為顯示界面，人機(jī)界面友好

軟硬件等抗干擾設(shè)計(jì)提高系統(tǒng)穩(wěn)定性，可抗2500VDC脈沖群干擾

在單晶硅的提煉純度要求較高時(shí)，會(huì)在單晶爐周?chē)胖镁€(xiàn)圈，保證磁場(chǎng)的穩(wěn)定性?；蛘呤褂脠?chǎng)合有防爆要求時(shí)，在測(cè)量液面的區(qū)域，推薦使用光纖式雙色紅外測(cè)溫儀。推薦產(chǎn)品：DCTQ-T -7018（鏈接DCTQ系列光纖式雙色測(cè)溫儀）。采用可調(diào)焦鏡頭和紅色激光光源瞄準(zhǔn)，溫度分辨率為0.1℃，具有極高的溫度穩(wěn)定性。采用比色測(cè)溫的方法，可以避免硅料直徑變化的影響。視窗的污染，也不會(huì)影響測(cè)溫的準(zhǔn)確性。并有臟鏡頭檢測(cè)功能，鏡頭太臟時(shí)會(huì)提前發(fā)出信號(hào)，保證系統(tǒng)可靠工作。

（2）石墨坩堝溫度的檢測(cè)

采用短波長(zhǎng)單色測(cè)溫儀來(lái)測(cè)量石墨坩堝的溫度。推薦產(chǎn)品：DCTQ-714X0-S-7022（鏈接DCTQ-714X0系列單色紅外測(cè)溫儀）或者經(jīng)濟(jì)款產(chǎn)品DCTQ-S-6020（鏈接DCTS系列單色紅外測(cè)溫儀）。

兩款產(chǎn)品采用1：1綠色光源對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)，并采用可調(diào)焦鏡頭（不受安裝距離遠(yuǎn)近的限制），溫度分辨率為0.1℃，具有極高的溫度穩(wěn)定性。

在單晶硅的提煉純度要求較高時(shí)，會(huì)在單晶爐周?chē)胖镁€(xiàn)圈，保證磁場(chǎng)的穩(wěn)定性?；蛘呤褂脠?chǎng)合有防爆要求時(shí)，在石墨坩堝的區(qū)域推薦使用光纖式單色紅外測(cè)溫儀